Двулучевые системы FIB-SEM (Focused Ion Beam — Scanning Electron Microscope) объединяют сканирующий электронный микроскоп и колонну фокусированного ионного пучка в одном приборе. Это позволяет одновременно наблюдать, анализировать и модифицировать образец с нанометровой точностью.
Hitachi NX9000
Флагманская двулучевая система Hitachi с уникальной ортогональной геометрией SEM и FIB колонн.
Ключевые характеристики
| Параметр | SEM-колонна | FIB-колонна |
|---|---|---|
| Источник | Холодный полевой эмиттер | Ga (галлий) LMIS |
| Напряжение | 0,1 – 30 кВ | 0,5 – 30 кВ |
| Разрешение | 2,1 нм (1 кВ), 1,6 нм (15 кВ) | SIM: 4 нм (30 кВ) |
| Ток пучка | — | 0,05 пА – 100 нА |
Уникальная ортогональная геометрия
В NX9000 SEM и FIB колонны расположены перпендикулярно друг другу (90°), что обеспечивает:
- •Неискажённые 3D-реконструкции — срезы создаются строго перпендикулярно поверхности наблюдения
- •Точную пробоподготовку ТЭМ-ламелей — минимальное повреждение образца
- •Одновременное наблюдение сечения и поверхности — в реальном времени
Расширенные возможности
- •3D-томография — автоматизированное послойное удаление и визуализация
- •Аргоновое травление — финишная полировка без галлиевого загрязнения (опция)
- •Перенос без воздействия кислорода — для чувствительных к атмосфере образцов (опция)
- •EDS/EBSD-анализ — химический и кристаллографический анализ в сечениях
Области применения
- •Полупроводники: анализ отказов, контроль процессов, подготовка ТЭМ-ламелей
- •Материаловедение: 3D-характеризация структуры, границ зёрен, пор
- •Энергетика: исследование электродов батарей, топливных элементов
- •Геонауки: анализ микроструктуры горных пород и минералов
- •Биология: объёмная визуализация клеточных структур
KombiMED предлагает полный спектр услуг по поставке, инсталляции и сервисному обслуживанию двулучевых систем Hitachi в Центральной Азии, на Кавказе и в Восточной Европе.
Свяжитесь с нами для обсуждения вашего проекта и подбора оптимальной конфигурации FIB-SEM.