Автоэмиссионные СЭМ (Field Emission SEM) используют катоды с холодной или термополевой эмиссией электронов, обеспечивая субнанометровое разрешение и минимальный диаметр зонда. Это инструменты для передовых исследований в нанотехнологиях, материаловедении и полупроводниковой промышленности.
Линейка Hitachi FE-SEM
Regulus серия (холодный катод)
Серия Regulus с холодным полевым эмиттером обеспечивает максимальную яркость пучка и минимальный энергетический разброс.
| Модель | Разрешение | Особенности |
|---|---|---|
| Regulus 8100 | 1,1 нм / 1 кВ | Компактный FE-SEM начального уровня |
| Regulus 8220 | 0,7 нм / 1 кВ | Аналитический, ЭДС/EBSD/WDS |
| Regulus 8230 | 0,6 нм / 1 кВ | Высокопроизводительный, in-situ эксперименты |
SU7000 (термополевой катод Schottky)
Аналитический FE-SEM с технологией Smart Operation для автоматизированных рабочих процессов.
SU8600 (холодный катод, STEM)
Сверхвысокое разрешение с возможностью STEM-наблюдения при 30 кВ — исследование тонких срезов и наноструктур.
Преимущества FE-SEM
- •Разрешение менее 1 нм — визуализация наноструктур
- •Высокий ток зонда при малом диаметре — эффективный элементный анализ
- •Низковольтная визуализация без повреждения чувствительных образцов
- •Передовые детекторные системы: SE, BSE, STEM, EDS, EBSD, WDS
Области применения
- •Нанотехнологии и наноматериалы
- •Полупроводниковая промышленность (контроль процессов)
- •Катализ и энергетические материалы
- •Биология ультраструктурного уровня
- •Передовые покрытия и тонкие плёнки
KombiMED — ваш партнёр по высокотехнологичному оборудованию Hitachi в Центральной Азии, на Кавказе и в Восточной Европе.
Обратитесь к нам для подбора оптимальной конфигурации FE-SEM под ваши задачи.