Статья
Двулучевые системы FIB-SEM: 3D-реконструкция и пробоподготовка для ТЭМ
Hitachi NX9000: ортогональная архитектура
В отличие от традиционных FIB-SEM, где колонны расположены под углом 52°–55°, в NX9000 SEM и FIB колонны строго перпендикулярны (90°).
| Параметр | SEM-колонна | FIB-колонна |
|---|---|---|
| Источник | Холодный полевой эмиттер | Ga (галлий) LMIS |
| Напряжение | 0,1–30 кВ | 0,5–30 кВ |
| Разрешение | 2,1 нм (1 кВ), 1,6 нм (15 кВ) | SIM: 4 нм (30 кВ) |
| Ток пучка | — | 0,05 пА – 100 нА |
Что даёт ортогональность:
- Срезы строго перпендикулярны поверхности наблюдения → неискажённые 3D-реконструкции
- Точная подготовка ТЭМ-ламелей с минимальным повреждением
- Одновременное наблюдение сечения и поверхности в реальном времени
Расширенные возможности NX9000
- 3D-томография — автоматизированное послойное удаление (slice & view) с последующей объёмной реконструкцией
- Аргоновое травление — финишная полировка без галлиевого загрязнения (опция)
- Перенос без воздействия кислорода — для чувствительных к атмосфере образцов: батареи, катализаторы (опция)
- EDS/EBSD-анализ — химический и кристаллографический анализ в сечениях
- Наноинженерия — осаждение Pt, W, C; прецизионная обработка структур
Области применения FIB-SEM
- Полупроводники: анализ отказов, контроль процессов, подготовка ТЭМ-ламелей из конкретных участков микросхем
- Материаловедение: 3D-характеризация зёрен, пор, границ фаз в металлах, керамике, композитах
- Энергетика: исследование электродов батарей, топливных элементов, солнечных панелей
- Геонауки: анализ микроструктуры горных пород и минералов
- Биология: объёмная визуализация клеточных структур методом serial block-face SEM
FIB-SEM — это не просто микроскоп, а нанолаборатория в одном приборе.
KombiMED — поставка и сопровождение FIB-SEM Hitachi
KombiMED предлагает полный спектр услуг по FIB-SEM системам Hitachi в Центральной Азии, на Кавказе и в Восточной Европе.
Свяжитесь с нами для обсуждения вашего проекта и подбора оптимальной конфигурации.
Смотрите также:
- Двулучевые системы FIB-SEM — каталог
- Системы пробоподготовки — каталог
- Просвечивающие ТЭМ — каталог